Přestože High-NA EUV litografie působila jako zásadní krok pro nadcházející generace výrobních procesů, TSMC, která letos počítá se zahájením stavby 1,4nm továrny, ji nevybaví jediným tímto strojem…

Zdroj: https://diit.cz/clanek/tsmc-zahaji-stavbu-14nm-tovarny-jiz-letos-nekoupi-ani-jeden-high-na-euv-stroj